论文部分内容阅读
在传统的氢氧化钾/水/乙醇制绒体系中添加酸类（酒石酸,硼酸）、表面活性剂（甲基纤维素、十二烷基磺酸钠、聚乙二醇PEG400）等添加剂,研究了添加剂含量对制绒面形貌和反射率的影响。研究表明,制绒液中酒石酸质量浓度为400×10-6时制绒效果最好,硅片反射率降低到原始硅片的55.48%;混合添加100×10-6酒石酸、200×10-6硼酸的制绒效果更加明显,反射率达到原始硅片的40.81%。而在酒石酸/硼酸混合体系中添加质量分数为0.2%的表面活性剂PEG400时制绒效果较好,硅