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光学干涉方法测量器件表面微小缺陷是一种有效的实验方法.对于多样性结果的唯一性分析,借助于计算机模拟,得到特征缺陷的干涉图样的模拟结果.该结果适用于不同波长,缺陷尺度连续变化的微小情况.使用误差跟踪计算办法,可分辨的缺陷尺度变化从1/2波长的10-1量级倍数到102量级倍数.
干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟
【摘 要】
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光学干涉方法测量器件表面微小缺陷是一种有效的实验方法.对于多样性结果的唯一性分析,借助于计算机模拟,得到特征缺陷的干涉图样的模拟结果.该结果适用于不同波长,缺陷尺度
【机 构】
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集美大学基础教学部
【出 处】
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集美大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2003年1期
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