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高反射Ag薄膜在空气中易老化,通过改变环境中的湿度、温度、反应气体浓度三个条件对Ag薄膜的腐蚀行为进行研究.结果显示:Ag薄膜试样在60℃,90％RH大气环境中12 d后的黄边占比为7.2％,湿度对Ag薄膜腐蚀的影响最显著,温度次之.反应气体浓度降低到水中溶解度时对Ag薄膜的腐蚀抑制效果明显.SiN x/Ag-Cu/SiN x膜系结构可以减少水汽吸附,延缓反应气体在薄膜中的扩散并阻隔水汽,实现对Ag薄膜的防护.在60℃,90％RH大气环境中12 d后,SiN x/Ag-Cu/SiN x反射膜未观察到腐蚀.