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在MEMS常见加工工艺的基础上，提出了单个硅微悬臂梁的制作工艺路线。探讨了双层材料氮化硅和铝之间的断裂和氮化硅和硅基底之间的粘连问题。
基于MEMS技术硅微悬臂梁制作工艺研究
【摘 要】
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在MEMS常见加工工艺的基础上，提出了单个硅微悬臂梁的制作工艺路线。探讨了双层材料氮化硅和铝之间的断裂和氮化硅和硅基底之间的粘连问题。
【机 构】
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扬州市职业大学机械工程学院
【出 处】
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南京工业职业技术学院学报
【发表日期】
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2008年4期
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