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采用电子束-物理气相沉积法（EB-PVD）制备了6个厚度为15-62nm的铂薄膜，研究了纳米薄膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响规律．当薄膜厚度小于30nm时，晶粒平均尺寸接近于薄膜的厚度；晶粒尺寸随着薄膜厚度的增加而增大并趋于定值；当薄膜厚度大于30nm时，晶粒尺寸约为20nm．受薄膜的表面和内部晶界的综合影响，铂纳米薄膜的热导率大大低于体材料的值，并且纳米薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而增大并趋于一个低于体材料热导率的值．