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超精密机床伺服系统中，间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因。为消除间隙非线性的影响，本文提出了双回路的控制方法，有效地防止了系统中自持振荡的产生。将该方法应用于实际系统中，得到了闭环定位时系统的最大稳态输出误差小于±20nm的控制精度。
无间隙极限环的超精密机床伺服控制技术研究
【摘 要】
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超精密机床伺服系统中，间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因。为消除间隙非线性的影响，本文提出了双回路的控制方法，有效地防止了系统中自持振荡的产生。将该方法应用于实际
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2001年z1期
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期刊
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