WO3气敏薄膜的制备方法

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WO3作为氢敏材料而具有优良的传感性能,目前广泛地应用于氢气传感器研究中.本文介绍了WO3氢气传感器的工作原理,以及近几年WO3氢气传感器的研究进展,主要介绍WO3气敏薄膜的制备方法,包括电沉积法、蒸发法、溅射法、溶胶-凝胶法等,并讨论了今后WO3氢气传感器的研究方向.
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