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期刊论文
WO3气敏薄膜的制备方法
WO3气敏薄膜的制备方法
来源 :陶瓷学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:f168168f
【摘 要】
:
WO3作为氢敏材料而具有优良的传感性能,目前广泛地应用于氢气传感器研究中.本文介绍了WO3氢气传感器的工作原理,以及近几年WO3氢气传感器的研究进展,主要介绍WO3气敏薄膜的制
【作 者】
:
涂越
李强
蒋丹宇
【机 构】
:
华东师范大学化学系,中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
:
陶瓷学报
【发表日期】
:
2013年4期
【关键词】
:
WO3
氢气传感器
溶胶-凝胶法
电沉积法
蒸发法
溅射法
WO3 hydrogen sensor sol-gel electrodeposition evap
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WO3作为氢敏材料而具有优良的传感性能,目前广泛地应用于氢气传感器研究中.本文介绍了WO3氢气传感器的工作原理,以及近几年WO3氢气传感器的研究进展,主要介绍WO3气敏薄膜的制备方法,包括电沉积法、蒸发法、溅射法、溶胶-凝胶法等,并讨论了今后WO3氢气传感器的研究方向.
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