数字输出型多功能传感器研究

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuandt
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基于混合集成技术 ,设计并制作了具有RS2 32标准接口输出的压力 温度多功能传感器。该传感器由压力 温度复合敏感单元、R/V转换及前置放大、A/D转换、可编程RS2 32接口单元等构成。此外开发了传感器的数据采集与处理软件 ,通过软件对原传感器的误差进行软补偿 ,传感器的测量综合精度有所提高 ,在室温至 80℃的测量范围内零位温漂由 4 .4 % /℃降至 0 .2 % /℃。
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