论文部分内容阅读
ZAO薄膜具有较高的可见光区透射率(T≥85％)、优良的导电性、微波强衰减性(衰减率≥80％),应用于伪装隐身技术、平板显示、太阳能电池、反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层等领域.制备ZAO薄膜的原料无毒无污染,储量丰富,成本低廉,制造工艺简单,且在等离子体中稳定性好,逐渐成为ITO的热门替代产品,尤其是在太阳能电池透明电极、平板显示器件领域.ZAO薄膜的制备方法主要有溶胶-凝胶法、化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、喷雾热解法、磁控溅射法等,最后总结了ZAO的应用领域,并对ZAO薄膜的发展趋势进行了展望.