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以（CH，COO）2Zn·2H2O和AlCl3·6H2O为前驱物，以普通玻璃为基底利用溶胶-凝胶旋转涂膜法制备AZO薄膜。采用x射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外．可见分光光度计、四探针电阻测试仪等对AZO薄膜的物相组分、表面形貌、透射率和方块电阻进行测量与表征，并研究了热处理温度和掺铝量对AZO薄膜的结构和光电性能的影响。结果表明：AZO薄膜的结构和光电性能与不同的热处理温度和掺铝量有关，实验得到了最佳的工艺条件为热处理温度为500℃，热处理时间为60min，掺Al溶度为1m01％，镀