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方差分析是根据试验的结果进行分析，鉴别各个有关因素对试验结果影响的有效方法。将应用方差分析研究主要工艺参数对Ti2AlNb金属间化合物等离子表面渗Mo显微硬度的影响。单因素方差分析试验结果表明：工艺参数如工作温度、保温时间、极间距对Ti2AlNb金属间化合物等离子表面渗Mo显微硬度均有显著影响，而工作气压对Ti2AlNb金属间化合物等离子表面渗Mo显微硬度无显著影响。