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本文介绍了等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备生成Si Nx减反膜和H钝化的机理,并将PECVD技术应用于太阳能电池的工业化大生产中,分析了PECVD产品的异常现象及常用处理方法。
多晶硅太阳电池片生产中的管式PECVD研究
【摘 要】
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本文介绍了等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备生成Si Nx减反膜和H钝化的机理,并将PECVD技术应用于太阳能电池的工业化大生产中,分析了PECVD产品的异常现象及常用处理方
【机 构】
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陕西国防工业职业技术学院
【出 处】
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自动化技术与应用
【发表日期】
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2015年02期
【基金项目】
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陕西国防工业职业技术学院自然科学类研究项目《太阳能光伏发电系统的控制设计与实现》的成果之一,(项目编号:Gfy 14-07)
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