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经由阳极氧化实现了p型硅基的60周期（120层）反射结构，并在此基础上成功制作了基于一维光子晶体的全反射镜，其中心反射波长位于1．61μm左右，反射率几乎为100％的禁带带宽约为0．25μm。
基于p型多孔硅的一维光子晶体的微结构分析
【摘 要】
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经由阳极氧化实现了p型硅基的60周期（120层）反射结构，并在此基础上成功制作了基于一维光子晶体的全反射镜，其中心反射波长位于1．61μm左右，反射率几乎为100％的禁带带宽约为0．25μm。
【机 构】
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华东师范大学信息学院电子系,红外物理国家重点实验室
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2006年1期
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