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电极材料对BST薄膜介电性能的影响
电极材料对BST薄膜介电性能的影响
来源 :湖北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:haisheng1984
【摘 要】
:
BST薄膜是微电子器件领域很有吸引力的介质材料.就BST薄膜研究中电极材料选择这一焦点问题进行综述,包括电极材料的种类,电极对薄膜微观结构、介电参数及稳定性等方面的影响,
【作 者】
:
张柏顺
章天金
江娟
刘江华
【机 构】
:
湖北大学
【出 处】
:
湖北大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2003年03期
【关键词】
:
BST薄膜
电极材料
介电性能
氧空位
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BST薄膜是微电子器件领域很有吸引力的介质材料.就BST薄膜研究中电极材料选择这一焦点问题进行综述,包括电极材料的种类,电极对薄膜微观结构、介电参数及稳定性等方面的影响,分析与电极相关的薄膜缺陷和可靠性现象,并对未来的发展作简要的描述.
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