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由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头.利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集.采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25 mm×25 mm×10 mm,单轴12μm范围内定位精度达1 nm的三维微位移平台.最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试.结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10 nm,横向分辨力优于25 nm,