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薄膜粒径对Debye温度和弹性模量的影响
薄膜粒径对Debye温度和弹性模量的影响
来源 :鞍山钢铁学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a351200
【摘 要】
:
通过金属薄膜电阻率的测定,得出Debye温度和薄膜厚度的关系,Debye温度和薄膜结晶大小的关系,以及弹性模量和薄膜粒晶大小的关系.金属薄膜用真空蒸发的方法制作.当基板的温度
【作 者】
:
张九如
【机 构】
:
镇江师范专科学校物理系
【出 处】
:
鞍山钢铁学院学报
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
金属薄膜
膜电阻
薄膜厚度
粒子大小
真空蒸发
结晶
粒径
影响
关系
变化
film
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Debye temperature
elasticity
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通过金属薄膜电阻率的测定,得出Debye温度和薄膜厚度的关系,Debye温度和薄膜结晶大小的关系,以及弹性模量和薄膜粒晶大小的关系.金属薄膜用真空蒸发的方法制作.当基板的温度发生变化时,薄膜的粒子大小也将发生变化,基板温度越高,薄膜的粒子越大.
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