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均匀、稳定的放电等离子体对采用等离子体技术制备纳米材料具有重要意义。为了得到均匀、稳定的放电等离子体,提出了由尖端平板电极过渡到多端电极的设计,利用3种不同规格的多端电极,结合电学测量系统在不同参数下得到了大气压多端放电等离子体的放电电压-电流波形和放电形貌。实验结果表明三种多端电极中1号放电电极配置(电极外径为28.00mm,齿间距0.83mm,反应间距为3.3mm)放电波形更加均匀稳定;当电压为5.0kV,放电频率为60.0kHz,气体是Ar和NH3时放电会更加稳定。