【摘 要】
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电弧离子镀设备若具有必要的功能条件,就可用纯金属分离靶弧流控制技术来制取多元硬质梯度薄膜,本工作明确合成梯度薄膜的工艺原则,并以TiAl多层合金梯度薄膜和（Ti,M）N(M为Zr,N
【机 构】
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大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室(大连)
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电弧离子镀设备若具有必要的功能条件,就可用纯金属分离靶弧流控制技术来制取多元硬质梯度薄膜,本工作明确合成梯度薄膜的工艺原则,并以TiAl多层合金梯度薄膜和（Ti,M）N(M为Zr,Nb等元素)硬质梯度薄膜为例,进一步展开说明该技术的工艺过程,对实际效果给予评定.结果表明,用电弧等离子镀技术制备多元硬质梯度薄膜,具有操作简便、沉积速度快、成分调节范围等优点,为多元复合硬质薄膜的合金强化机制与结构化研究,提供了关键的技术条件.
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