基于十八硫醇修饰的Al0.6Ga0.4N MSM光电探测器研究

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：leunggz

【摘要】

：

高Al组分的AlGaN材料的光谱响应范围在日盲紫外波段,但其表面较高的缺陷密度限制了其在日盲紫外探测领域的应用.为此,研究了表面修饰对AlGaN基日盲紫外光电探测器件的性能影响.采用化学自组装方法,将十八硫醇有机分子化学吸附在高Al组分的Al0.6Ga0.4N表面,制备出表面修饰的AlGaN基金属-半导体-金属型日盲紫外光电探测器件.与未经修饰的光电探测器对比验证了这种修饰过程能有效减少AlGaN材料的表面状态引起的不利影响,降低器件的漏电流,并显著提高器件响应度,从而实现具有高响应度的AlGaN基金属-

【作者】

：

李宇航谷燕陈建薇姚宇飞蒋学成陆乃彦张秀梅杨国锋卞宝安

【机构】

：

江南大学理学院,江苏无锡 214122

【出处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2021年11期

【关键词】

：

紫外光电探测器响应度表面修饰 AlGaN 十八硫醇

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