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太阳能级多晶硅冶金法提纯工艺的研究
太阳能级多晶硅冶金法提纯工艺的研究
来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:angle4781
【摘 要】
:
介绍了太阳能级多晶硅的主要提纯工艺,并提出了冶金法提纯多晶硅的工艺过程,与现在主流的改良西门子法进行提纯效率、成本、耗能以及多环境的影响等方面进行对比.
【作 者】
:
窦丹
陈海峰
朱开鼎
李九良
【机 构】
:
陕西科技大学机电工程学院
【出 处】
:
热加工工艺
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
多晶硅
冶金法
工艺技术
研究
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介绍了太阳能级多晶硅的主要提纯工艺,并提出了冶金法提纯多晶硅的工艺过程,与现在主流的改良西门子法进行提纯效率、成本、耗能以及多环境的影响等方面进行对比.
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