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微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理
微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理
来源 :电子测量与仪器学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:show20090907
【摘 要】
:
利用粉末反溅研制了SnO2/CeO2Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间<10s,恢复时间<15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行
【作 者】
:
邢建平
李秀宇
曾繁泰
李伟业
蔡成森
李娟
孟令国
【机 构】
:
山东大学信息科学与工程学院
【出 处】
:
电子测量与仪器学报
【发表日期】
:
2004年z2期
【关键词】
:
薄膜
气敏
过冲驰豫
MATLAB
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利用粉末反溅研制了SnO2/CeO2Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间<10s,恢复时间<15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,并使用Matlab软件进行了仿真.
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