基片表面状态对Pb1-xGexTe薄膜红外光学性能的影响

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在高真空中用热蒸发的方法沉积了碲锗铅(Pb_(1-x)Ge_xTe)薄膜。分析了基片表面状态(粗糙度、晶向、温度)对膜层结构和红外光学特性的影响,发现光滑表面容易得到致密膜层和高红外折射率;随着沉积温度的增加,膜层的短波吸收边(λ_c)往长波方向移动。
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