300MHz激光扫描声学显微镜

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本文对激光扫描声学显微镜(SLAM)的刀口理论以及利用谐波技术提高其工作频率的方法进行了研究.实验上实现了使基波频率为100MHz的SLAM工作于300MHz三次谐波上.最后给出了一些样品在300MHzSLAM系统上较清晰的声学图像. In this paper, the blade theory of laser scanning acoustic microscope (SLAM) and the method of using harmonic technology to improve its working frequency are studied. Experimental realization of the fundamental frequency of 100MHz SLAM work on the 300MHz third harmonic. Finally, some samples are given a clearer acoustic image on a 300MHz SLAM system.
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