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研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机,用于超精密平面抛光。文中介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实现,加工结果表明,该型抛光机可将加工余量去除误差控制在1nm 以下,并获得表面粗糙度小于0.2nm 的平面。
智能型纳米级超精密抛光机的研究
【摘 要】
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研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机,用于超精密平面抛光。文中介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实
【机 构】
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浙江工业大学职教学院浙江工业大学机电学院杭州智邦纳米技术有限公司浙江杭州浙江杭州
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2004年3期
【基金项目】
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浙江省自然科学基金青年科技人才培养基金(RC02066),, 浙江省科技厅重点项目(2003C21036),, 宁波市科技计划项目(2002A41017)资助
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