【摘 要】
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熔融石英谐振结构是微半球谐振陀螺的核心部件,为满足陀螺应用需求,需要对谐振结构进行表面金属化处理以增强其导电性。利用COMSOL软件对表面金属化后谐振结构的热弹性损耗进
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51505490).
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熔融石英谐振结构是微半球谐振陀螺的核心部件,为满足陀螺应用需求,需要对谐振结构进行表面金属化处理以增强其导电性。利用COMSOL软件对表面金属化后谐振结构的热弹性损耗进行了仿真和分析。结果表明:表面金属层会极大地增加谐振结构热弹性损耗,且表面金属层越厚,对热弹性品质因数影响越大。同时,对同一批次金属化后的微半球谐振结构进行了测试以及退火。测试结果表明:退火后谐振结构品质因数有显著提升,最高提升112. 63%。
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