【摘 要】
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应用金属有机化合物气相淀积（MOCVD）制备了具有渐变层的半导体布拉格反射镜（DBR），分别是抛物线性、线性和突变结构的DBR。三种反射镜结构都设计为8个周期，通过白光反射谱测量突变DB
【机 构】
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北京工业大学电控学院光电子技术实验室
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应用金属有机化合物气相淀积（MOCVD）制备了具有渐变层的半导体布拉格反射镜（DBR），分别是抛物线性、线性和突变结构的DBR。三种反射镜结构都设计为8个周期，通过白光反射谱测量突变DBR具有最大反射率。应用原子力显微镜对所制备的DBR表面形貌进行分析。结果表明，相同周期数情况下线性渐变DBR相对于其他两种结构粗糙度最小，具有良好的表面形貌，可以应用于垂直腔面发射激光器的研制。
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