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选择4种切削液进行了电镀金刚石线锯切割单晶硅片的试验，研究了不同种类切削液对硅片的表面形貌、表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的影响，分析了切削液对线锯切片过程的作用机理。研究结果表明，合成液对提高硅片的表面形貌质量，降低硅片的表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的综合效果最好。
切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响
【摘 要】
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选择4种切削液进行了电镀金刚石线锯切割单晶硅片的试验，研究了不同种类切削液对硅片的表面形貌、表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的影响，分析了切削液对线锯切片过程的作用机
【机 构】
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山东大学机械工程学院
【出 处】
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武汉理工大学学报
【发表日期】
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2008年8期
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