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主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势.
MEMS技术的发展与应用
【摘 要】
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主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势.
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2003年1期
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