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为了解决高精度光学系统中铝合金、铍反射镜易钝化、难加工的问题，采用自催化镍-磷合金作为过渡层后进行抛光的方法得到了高精度光学镜面．采用该方法所得到的镍-磷合金过渡层厚度为85gm，磷质量分数为11．88％，镀层显微硬度为730MPa镍-磷合金过渡层与反射镜结合牢固、耐蚀性较好，可通过±200℃热震试验及96h中性盐雾试验检测，适用于进行古典法抛光．经抛光后反射镜面形精度均方根值（RMS）为0．049λ（面形检测波长λ为0．6328μm），表面疵病等级为Ⅳ级，能够满足光学系统的要求．