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将基体效应修正引入到俄歇电子能谱仪定量分析中，基于MonteCarlo模拟和TPP-2M模型进行了氧化铜样品中各元素背散射因子和非弹性平均自由程的计算，对氧化铜标样在相同条件下重复10次进行俄歇能谱试验。将修正因子引入到氧化铜标样的俄歇定量分析中，基体效应修正后，氧化铜中各元素含量的相对误差大大减小，俄歇定量分析的精确度有很大提高。