论文部分内容阅读
粘附是影响微机电系统（MEMS）可靠性的重要因素之一。针对MEMS的典型产品一微加速度计的粘附问题进行了研究，给出了2种典型的微加速度计的表征粘附特性的剥离数的表达式，并分析了将粘附条件应用于微加速度计的多学科设计优化之中，分析了其对系统结构设计产生的影响。
微加速度计粘附问题的研究及应用
【摘 要】
：
粘附是影响微机电系统（MEMS）可靠性的重要因素之一。针对MEMS的典型产品一微加速度计的粘附问题进行了研究，给出了2种典型的微加速度计的表征粘附特性的剥离数的表达式，并分析了
【机 构】
：
北京科技大学机械工程学院
【出 处】
：
传感器与微系统
【发表日期】
：
2006年6期
其他文献
以加速度传感器为基础，提出了一种新型的动态汽车制动性能监测方案。通过安装在汽年轮胎内部的加速度传感器，获取轮胎的离心力，并进行数据换算得到轮胎的制动力，以非接触方式向驾
连接性是在设计和仿真无线Ad Hoc传感器网时需要确定的重要基础性问题。在理想环境和阴影衰落环境下，在网络节点采用均匀分布时，对无线Ad Hoc传感器网的连接性采用网络覆盖的方
应用介观电子线路制备量子态并实现相应的信息传输与控制是量子信息学的重要课题。利用介观耦合电路给出了制备双模压缩真空态的方案，研螽了模间纠缠度与压缩幅度参数的关系。
介绍了薄带材智能辐射测厚仪的测量原理、结构组成；研究与分析了影响辐射测厚仪测量精度的各种因素；给出了一整套相应的保证和提高辐射测厚仪的测量精度的集成处理方法，如根据不
针对高温压力传感器耐高温和高压的测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅杯式芯片版图,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片,在微加工平台上制作了该芯片,获得了差动等臂等应变的惠斯登检测电桥。对采用耐高温封装后的传感器的热零点漂移、热灵敏度漂移和零位输出的补偿作了研究,设计了补偿电路,推导了热灵敏度漂移补偿的计算公
光电滑觉传感器是利用光电效应原理,将机械的滑动通过光信号转换为电信号加以检测。光电滑觉传感器的实时性与传感器对滑动程度的判别模式直接相关。通过分析典型的滑动信号,
在NaCl＋KCl熔盐介质中，在660℃下对利用微乳技术制备的前驱物进行焙烧，成功合成了SnO2纳米棒。利用TEM，XRD对SnO2纳米棒形貌、成分进行了表征和分析，SnO2纳米棒直径为10～20nm，长度从
采用水热腐蚀技术制备了表面同时具有规则阵列结构和多孔结构的硅微米／纳米结构复合体系硅纳米孔柱阵列（Si-NPA），并测试了其电阻酒敏特性。结果表明：Si-NPA对酒精具有较高的灵敏度