【摘 要】
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为了解决四探针技术在微区测量中不能测试较厚样品的问题,提出了一种厚度修正方法.该方法基于镜像源理论,以样品的上下边界为镜面,反复镜像电流源得到无限系列镜像源.将这些
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为了解决四探针技术在微区测量中不能测试较厚样品的问题,提出了一种厚度修正方法.该方法基于镜像源理论,以样品的上下边界为镜面,反复镜像电流源得到无限系列镜像源.将这些镜像源所产生的电位对测试点的影响进行叠加,推导出利用改进的Rymaszewski方形四探针法进行电阻率测量时的厚度修正公式,又利用规范化拟合法得到了多项式.修正后的结果反映了样品的真实电阻率,实验结果验证了该修正公式的正确性,从而完善了改进的Rymaszewski方形四探针的微区测量方法,使该方法能够应用到实际的测量中,提高了其实用性.
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