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对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点.从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性,必有广阔的应用和发展前景.
谐振式微机械惯性传感器
【摘 要】
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对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点.从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性,必有广阔的应用和发展前
【机 构】
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北京航空航天大学
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2005年2期
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