大面积YBCO高温超导双面薄膜的生长研究

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采用倒筒式直流溅射(ICS)方法,辐射方式加热基片,通过电机带动基片旋转,在两面同时溅射沉积YBCO高温超导双面薄膜。在加热温度为850 ℃,总压强为35 Pa,氧氩比为1∶2,靶基距50 mm,基片转速5~40 r/min条件下,在20 mm×20 mm的LaAlO3(100)单晶基片上制得两面性能优良且一致性很好的YBCO高温超导双面薄膜。样品两面性能达到:Tc0=89.1 K,ΔTc=0.2 K,Jcl=2.69 MA/cm2,Jc2=2.74 MA/m2(77 K,0 T),Rsl=0.
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