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光栅刻划机被誉为“精密机械之王”，采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段，因此，对高精度的光电式光栅刻划机进行研究具有重要的现实意义。文中主要阐述了两类光电式刻划机的控制原理，并对其特点进行了比较。
高精度的光电式衍射光栅刻划机
【摘 要】
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光栅刻划机被誉为“精密机械之王”，采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段，因此，对高精度的光电式光栅刻划机进行研究具有重要的现实意义。文中主
【机 构】
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吉林工学院机电学院长春130012中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130021中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春130021
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2001年z1期
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