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阐述了用来控制和改善高功率激光器腔镜及其窗口热变形产生的破坏的几种技术,如水冷技术、半导体致冷技术和相交致冷等技术。由于各种技术应用原理不同,其适用的范围也有很大的差别。其中一种新技术多层水冷技术适应性比较广,并且能有效地减少高功率激光器热效应对其光学元件的影响,从而使镜面变形得到很好的控制。