基于镍基合金薄膜的热电偶传感器研制

来源 :光学与光电技术 | 被引量 : 1次 | 上传用户：a20090907

【摘要】

：

研究了一种直接沉积在镍基高温合金上的薄膜热电偶传感器。针对航空发动机高温恶劣环境,设计了传感器的膜层结构,采用磁控溅射技术沉积NiCrAlY薄膜过渡层,以电子束蒸发和射频磁控溅射技术相结合的方法沉积Al_2O_3薄膜绝缘层和保护层,采用直流磁控溅射技术制备Pt10Rh/Pt薄膜敏感层。测试结果表明,薄膜热电偶传感器最高工作温度达1 100℃,塞贝克系数8.26μV/℃,最大温度误差小于1%,使用寿

【作者】

：

顾宝龙赵振平陈浩远潘威张志强

【机构】

：

航空工业上海航空测控技术研究所,上海201601;故障诊断与健康管理技术航空科技重点实验室,上海201601

【出处】

：

光学与光电技术

【发表日期】

：

2020年02期

【关键词】

：

薄膜热电偶传感器温度测量标定塞贝克系数

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