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文章对分子束外延的GeSi/Si异质结红外探测器关键参数进行了分析研究 ,采用经典理论对器件结构参数进行了计算 ,结果与实验数据吻合。
GeSi/Si异质结红外探测器结构参数设计
【摘 要】
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文章对分子束外延的GeSi/Si异质结红外探测器关键参数进行了分析研究 ,采用经典理论对器件结构参数进行了计算 ,结果与实验数据吻合。
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2000年S1期
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