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采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在氧化铝陶瓷衬底上沉积金刚石膜，并制作梳状电极的a粒子探测器．通过优化薄膜生长条件，发现酒精浓度为0．8％、沉积温度为850℃时，金刚石薄膜的介电常数最接近单晶金刚石膜，X射线衍射、喇曼光谱及扫描电子显微镜测试表明金刚石膜的质量较好．探测器的Ⅰ-Ⅴ测试结果表明暗电流在10^-8～10^-7A之间，α粒子(^241Am5．5MeV)辐照下电流为10^-5～10^-6A。