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TiN薄膜具有高硬度、低磨擦系数等优良的综合机械性能,已作为耐磨减摩涂层得到广播应用[1].尽管TiN薄膜作为涂层材料具有优良的综合机械性能,但仍存在一些可以必进的方面,如它的高温抗氧化性不强,硬度还不够高(HV22Gpa左右)等等[1].
Ti—Si—N纳米复合薄膜的超硬性
【摘 要】
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TiN薄膜具有高硬度、低磨擦系数等优良的综合机械性能,已作为耐磨减摩涂层得到广播应用[1].尽管TiN薄膜作为涂层材料具有优良的综合机械性能,但仍存在一些可以必进的方面,如
【机 构】
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上海交通大学金属基复全材料国家重点实验室
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2002年5期
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