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介绍了一种基于MEMS和表面微加工工艺的差分式微电容加速度计，并通过分析，构建了该加速度计的数学模型，并简要介绍了该加速度计的一些简单应用．
差分式微电容加速度计的数学模型及应用
【摘 要】
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介绍了一种基于MEMS和表面微加工工艺的差分式微电容加速度计，并通过分析，构建了该加速度计的数学模型，并简要介绍了该加速度计的一些简单应用．
【机 构】
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洛阳师范学院物理与电子科学系
【出 处】
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洛阳师范学院学报
【发表日期】
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2006年5期
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