论文部分内容阅读
通 过 压电 式 传感 器与 电 感式 传感 器 的特 性对 比 ，得出 压电 式 传感 器的 电 压衰 减所 引起 的 误 差是 压 电 式粗 糙 度 测量 仪 一 般只 能 提 供被 测 表 面单 参 数 值的 模 式 ，而 不 能提 供被 测 表 面的 轮 廓 曲线 的 主 要原 因 。 要完 善 压 电式 粗 糙 测量 仪 的 特性 并 扩 大其 使 用范围 ，应选 择 电压 衰 减小 的压 电 式传 感器 ，并 合理 设计 压 电式 粗糙 度 测量 仪系 统 和配 置方案 。