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利用氧化锆的相变能够提高材料韧性的作用，在MgO—Al2O3-SiO2微晶玻璃中添加部分稳定超细氧化锆，用烧结法制得微晶玻璃基板。使用AKASHI压痕法测试材料增韧前后的韧性，利用FESEM观察微晶玻璃断口形貌，用XRD测试样品中的晶体组成，并在多芯片基板上初步得到满意的使用效果。实验证明，添加一定量的超细氧化锆后微晶玻璃的韧性有很大的提高，基板的破损率有较大的降低。