【摘 要】
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基于Synopsys SWB仿真平台,研究了高K介质金属栅器件中栅功函数变化在N/PMOSFET器件的影响；模拟和分析了金属栅功函数在Lgate=32 nm N/PMOSFET器件工作特性提高中的最佳优化方
【机 构】
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司技术研发中心
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基于Synopsys SWB仿真平台,研究了高K介质金属栅器件中栅功函数变化在N/PMOSFET器件的影响；模拟和分析了金属栅功函数在Lgate=32 nm N/PMOSFET器件工作特性提高中的最佳优化方向及其机理.研究结果表明,栅极功函数对N/PMOS器件工作电流Idsat的影响并非简单地单调变化,而是呈现类似钟型分布的特性；存在最佳工作点.同时金属功函数的优化对于器件短沟道效应SCE和关断漏电流的抑制有着显著地影响.此外通过模拟金属栅替代多晶硅栅的应力模拟表明,自去除多晶硅栅到在沉积金属栅的过程中,
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