复合膜机械特性的片上测量

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sz_ydz

【摘要】

：

结合微型隧道效应磁强计的制作,在同一个硅片上制作了与磁强计功能结构相似的两端固支梁结构,采用谐振频率法,进行复合膜机械特性的测量.通过测量不同长度的梁的谐振频率,同

【作者】

：

朱俊华叶雄英何日晖周兆英

【机构】

：

清华大学精密仪器与机械学系

【出处】

：

中国机械工程

【发表日期】

：

2002年11期

【关键词】

：

复合膜片上测量微机电系统机械特性杨氏模量残余应力谐振频率硅微薄膜 MEMSmechanical propertiesYoung's mod

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结合微型隧道效应磁强计的制作,在同一个硅片上制作了与磁强计功能结构相似的两端固支梁结构,采用谐振频率法,进行复合膜机械特性的测量.通过测量不同长度的梁的谐振频率,同时得到复合膜的杨氏模量和残余应力参数.测量结果表明,以浓硼硅为主要材料的复合膜的杨氏模量和残余应力分别为120.2 GPa和-66.4 MPa.

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