基于PMAC的直线电机进给控制系统研究

来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yanghuayejuan

【摘要】

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本文采用PMAC对高精度直线电机进行全闭环控制,调试出了良好的系统动态性能,使控制系统实现了50nm的微位移并在10μm/s的进给速度下的速度波动率仅为1%,验证了直线电机进给控

【作者】

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宋涛张清泉张勇安晨辉张飞虎

【机构】

：

哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨,150001中国工程物理研究院科研技术部,绵阳,621900;

【出处】

：

城市道桥与防洪

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

PMAC PID 全闭环控制直线电机

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本文采用PMAC对高精度直线电机进行全闭环控制,调试出了良好的系统动态性能,使控制系统实现了50nm的微位移并在10μm/s的进给速度下的速度波动率仅为1%,验证了直线电机进给控制系统的高精度和良好的低速稳定性.光学元件的加工实验得到了Ra3.3nm的表面粗糙度,从而证明了该系统非常适合用于超精密机床的进给控制.

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