拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试

来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：s83436776

【摘要】

：

介绍了一种基于拉曼光谱频移来实现微结构应力测试的方法.利用该方法,实现了怂标准体硅腐蚀工艺形成的八梁支撑的微悬臂梁中应力分布的测试.测试结果表明:EPW体硅腐蚀形成的

【作者】

：

熊继军张文栋薛晨阳桑胜波周兆英

【机构】

：

中北大学仪器与动态测试教育部重点实验室,中北大学仪器与动态测试教育部重点实验室,清华大学

【出处】

：

中国机械工程

【发表日期】

：

2005年14期

【关键词】

：

微结构应力拉曼光谱悬臂梁质量块 micro-structure stress Raman spectroscopy micro- cantilever

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介绍了一种基于拉曼光谱频移来实现微结构应力测试的方法.利用该方法,实现了怂标准体硅腐蚀工艺形成的八梁支撑的微悬臂梁中应力分布的测试.测试结果表明:EPW体硅腐蚀形成的梁-质量块系统中梁与质量块上存在40～160MPa的张应力,微梁上的残余张应力平均达到100MPa;对微结构上的不同位置,边缘的残余应力普遍要比中心位置的大一些.

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