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激光干涉仪已成为精密机床线性测量与补偿的基准,本文以雷尼绍ML10激光干涉仪线性测量为例,从激光干涉仪测量原理分析入手,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系。叙述了环境因素对测量因素的影响,针对具体线性测量指出其定位精度和重复定位精度计算公式。并指出了在测量过程中应注意的问题。
激光干涉仪原理与应用研究
【摘 要】
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激光干涉仪已成为精密机床线性测量与补偿的基准,本文以雷尼绍ML10激光干涉仪线性测量为例,从激光干涉仪测量原理分析入手,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系。叙述了环
【机 构】
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渭南师范学院数理学院
【出 处】
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山东工业技术
【发表日期】
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2018年20期
【基金项目】
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陕西省军民融合基金研究项目(16JMR04),渭南师范学院院级科研项目(17YKF05)
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