基于双细锥型结构的M-Z干涉仪的光纤湿度传感器

来源 :中国计量大学学报 | 被引量 : 2次 | 上传用户:kency2008
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目的:提出一种基于双细锥型结构的M-Z干涉仪的光纤传感器,并通过分析传感器结构制作和传感原理,验证其传感性能。方法:利用特种光器件精密微加工平台(LDS2.5,3SAE Technologies, Inc/美国)制作双细锥形结构,锥形直径为40μm,双锥间距离为2 cm,锥形渐变区域为500μm,在RH40%~80%范围内进行实验。结果:通过实验验证了在20℃~95℃温度范围内其最大灵敏度为208.6 pm/℃、在RH50%~70%和70%~80%的湿度变化范围内传感器的灵敏度分别为-0.019 d
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