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一种高电流增益的SiGe HBT的研制
一种高电流增益的SiGe HBT的研制
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ncla02
【摘 要】
:
研制了一种平面集成多晶发射极SiGe HBT。经测量,在室温下电流增益β大于1500,最大达到2800,其Vceo为5V,厄利(Early)电压VA大于10V,βVh乘积达到15000以上。这种器件对多晶硅发射极
【作 者】
:
赵安邦
【机 构】
:
江苏淮安信息职业技术学院
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2008年6期
【关键词】
:
SIGE
异质结双极晶体管
平面集成
多晶硅发射极
SiGe
HBT
Planar integration
Polysilicon emitter
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研制了一种平面集成多晶发射极SiGe HBT。经测量,在室温下电流增益β大于1500,最大达到2800,其Vceo为5V,厄利(Early)电压VA大于10V,βVh乘积达到15000以上。这种器件对多晶硅发射极砷杂质浓度分布十分敏感。
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